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天津开发区***单位安装6T/H超纯水设备出水要求16兆

时间:2013-05-18 11:14来源:www.5iwater.com 作者:坤泰恒通 点击:

 

电子行业超纯水方案

行业工艺流程图

方案一:

预处理→反渗透→初混→精混→终端后处理

方案二:

预处理→二级反渗透→EDI(CDI)→终端后处理

方案三:

膜法(UF)预处理→二级反渗透→EDI→膜脱气→抛光→终端后处理

相关国家标准

国家对纯净水有统一的执行标准,即《GB/T11446。1-1997电子极水》。
  电子极水分为四个级别:Ⅰ级Ⅱ级Ⅲ级Ⅳ级
  分别标记为EW-Ⅰ、EW-Ⅱ、EW-Ⅲ、EW-Ⅳ
  电子极水的技术指标

级别

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率
MΩ·cm(25℃)

18
(95%时间)
不低于17

15
(95%时间)
不低于13

12.0

0.5

全硅最大值ug/L

2

10

50

1000

>1um微粒数,最大值个/ml

0.1

5

10

500

细菌数,最大值,个/mL

0.01

0.1

10

100

铜,最大值ug/L

0.2

1

2

500

锌,最大值ug/L

0.2

1

2

500

镍,最大值ug/L

0.1

1

2

500

钠,最大值ug/L

0.5

2

5

1000

钾,最大值ug/L

0.5

2

5

500

氯,最大值ug/L

1

1

10

1000

硝酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

磷酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

硫酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

总有机碳,最大值ug/L

20

100

200

100

 

 

行业应用领域

半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路

 LCD、EL、PDP、TFT、玻壳、显像管

超纯材料和超纯化学试剂

光导纤维、光盘

汽车、家电表面电泳漆清洗用水

其他高科技精微产品

实验室和中试车间

典型客户应用

项目简介:

山东高密超纯水系统项目,现已完成第二期(产水量为65吨/小时)和第一期项目(产水量为40吨/小时)的安装调试,该项目采用的工艺为石英砂过滤+活性炭过滤+阻垢剂添加装置+板式换热器+双级反渗透+EDI+TOC降解器+抛光混床,设备产水达到《电子级水国家标准GB/T 1144.6.1-1997》EW-Ⅰ级,设备产水用于多晶硅生产。


 

级别

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率
MΩ·cm(25℃)

18
(95%时间)
不低于17

15
(95%时间)
不低于13

12.0

0.5

全硅最大值ug/L

2

10i

   
     

10

500

细菌数,最大值,个/mL

0.01

0.1

10

100

铜,最大值ug/L

0.2

1

2

500

锌,最大值ug/L

0.2

1

2

500

镍,最大值ug/L

0.1

1

2

500

钠,最大值ug/L

0.5

2

5

1000

钾,最大值ug/L

0.5

2

5

500

氯,最大值ug/L

1

1

10

1000

硝酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

磷酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

硫酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

总有机碳,最大值ug/L

20

100

200

1000

 

级别

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率
MΩ·cm(25℃)

18
(95%时间)
不低于17

15
(95%时间)
不低于13

12.0

0.5

全硅最大值ug/L

2

10

50

1000

>1um微粒数,最大值个/ml

0.1

5

10

500

细菌数,最大值,个/mL

0.01

0.1

10

100

铜,最大值ug/L

0.2

1

2

500

锌,最大值ug/L

0.2

1

2

500

镍,最大值ug/L

0.1

1

2

500

钠,最大值ug/L

0.5

2

5

1000

钾,最大值ug/L

0.5

2

5

500

氯,最大值ug/L

1

1

10

1000

硝酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

磷酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

硫酸根,最大值ug/L

1

1

10

500

总有机碳,最大值ug/L

20

100

200

1000

 

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